真空漏孔校準(zhǔn)方法比較
檢漏技術(shù)在航天、航空、電子工業(yè)、高能物理、核工業(yè)等方面應(yīng)用十分廣泛。檢漏工作通常使用氦質(zhì)譜檢漏儀，而氦質(zhì)譜檢漏儀要用真空漏孔進(jìn)行標(biāo)定，因此，需要建立真空漏孔校準(zhǔn)裝置對(duì)其進(jìn)行校準(zhǔn)。近20年來(lái)，國(guó)內(nèi)外在真空漏孔的校準(zhǔn)方面做了大量的研究工作，建立了一系列真空漏孔校準(zhǔn)裝置，根據(jù)工作原理的不同主要分為定容法、恒壓法、檢漏儀比較法、四極質(zhì)譜計(jì)比較法、定容分流法和固定流導(dǎo)法等。
真空漏孔校準(zhǔn)方法比較
定容法是將真空漏孔漏出的氣體引入已知體積的定容室，通過(guò)測(cè)量定容室氣體壓力的變化量來(lái)計(jì)算漏率，是一種直接校準(zhǔn)真空漏孔的方法。這種方法需要專(zhuān)用標(biāo)準(zhǔn)體積測(cè)量各定容室的容積，每次校準(zhǔn)真空漏孔時(shí)都需要重新測(cè)量接頭的體積，工作過(guò)程比較繁瑣。由于校準(zhǔn)過(guò)程是靜態(tài)的，材料漏放氣對(duì)校準(zhǔn)結(jié)果的影響大，材料表面處理工藝要求嚴(yán)格，校準(zhǔn)下限受到限制，所以定容法只適合于校準(zhǔn)較大漏率的漏孔。
恒壓法是將恒壓式流量計(jì)提供的氣體流量與真空漏孔產(chǎn)生的漏率用四極質(zhì)譜計(jì)進(jìn)行比較，從而得到真空漏孔漏率值。恒壓法校準(zhǔn)裝置的核心是恒壓式流量計(jì)。恒壓式流量計(jì)在保持變?nèi)菔覂?nèi)氣體壓力恒定的條件下，測(cè)量體積的變化量，從而得到氣體流量。這種裝置的校準(zhǔn)范圍由恒壓式流量計(jì)的測(cè)量范圍決定，現(xiàn)在國(guó)際上通用的流量計(jì)結(jié)構(gòu)是波紋管壓縮式和活塞桿推移式.種：德國(guó)的波紋管是經(jīng)過(guò)1年實(shí)驗(yàn)，在大量波紋管中選出理想的一根；國(guó)防科工委真空計(jì)量一級(jí)站采用電機(jī)驅(qū)動(dòng)活塞桿壓縮油的方式工作�？傮w來(lái)說(shuō)，恒壓法真空漏孔校準(zhǔn)裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜，研制費(fèi)用高，需要自動(dòng)控制和精密機(jī)械加工等多方面的知識(shí)和人員，不易于進(jìn)行大批量的校準(zhǔn)工作。雖然恒壓法校準(zhǔn)不確定度小，但流量校準(zhǔn)下限也不能滿(mǎn)足絕大多數(shù)漏孔的漏率范圍。
檢漏儀比較法是將已知漏率的真空漏孔作為參考標(biāo)準(zhǔn)，運(yùn)用檢漏儀將參考標(biāo)準(zhǔn)的流量與待校真空漏孔氣體流量進(jìn)行比較，從而得出待校真空漏孔漏率值。由于檢漏儀和真空漏孔的穩(wěn)定性差，檢漏儀的靈敏度和線性無(wú)法保證，所以這種方法的測(cè)量下限無(wú)法滿(mǎn)足要求，測(cè)量不確定度大，一般用于工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量，而不適合于真空計(jì)量部門(mén)進(jìn)行真空漏孔的校準(zhǔn)。
四極質(zhì)譜計(jì)比較法與檢漏儀比較法類(lèi)似，只是流量比較器用四極質(zhì)譜計(jì)替換了檢漏儀，也同樣需要已知漏率的真空漏孔作為參考標(biāo)準(zhǔn)。雖然四極質(zhì)譜計(jì)的分辨率高、測(cè)量下限低，但其穩(wěn)定性和線性差，四極質(zhì)譜計(jì)計(jì)量學(xué)特性的研究是國(guó)際上目前仍沒(méi)有完全解決的一個(gè)難題，因此校準(zhǔn)結(jié)果無(wú)法令人信服。
定容分流法是定容法延伸測(cè)量下限的一種方法，是定容式流量計(jì)向外提供流量，經(jīng)一定比例的流量分流后，用四極質(zhì)譜計(jì)作為比較器校準(zhǔn)真空漏孔的方法。這種方法系統(tǒng)復(fù)雜，中間環(huán)節(jié)多，需要定容法流量計(jì)、分流系統(tǒng)，還要精確測(cè)量流量的分流比例等。此外，盡管在消除四極質(zhì)譜計(jì)非線性方面作了考慮，但不能完全消除四極質(zhì)譜計(jì)非線性影響。
固定流導(dǎo)法是將通過(guò)已知流導(dǎo)小孔的氣體與真空漏孔流出的氣體用四極質(zhì)譜計(jì)進(jìn)行比較，從而得到真空漏孔漏率。小孔是用機(jī)械、激光等加工方法制作而成。小孔流導(dǎo)的大小可以用定式流量計(jì)或恒壓式流量計(jì)精確測(cè)量，通過(guò)小孔的氣體流量等于穩(wěn)壓室氣體壓力與對(duì)應(yīng)小孔流導(dǎo)之積。通過(guò)調(diào)節(jié)穩(wěn)壓室的氣體壓力很方便地調(diào)節(jié)通過(guò)小孔的氣體流量，使其與待校真空漏孔漏率相同或非常接近，從而避免四極質(zhì)譜計(jì)的非線性影響。這種方法簡(jiǎn)單實(shí)用，便于實(shí)現(xiàn)，校準(zhǔn)范圍寬，測(cè)量不確定度小。
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