真空漏孔的校準(zhǔn)步驟――比擬法
比擬法校準(zhǔn)真空漏孔時，要將從真空漏孔流出的氣體產(chǎn)生的效應(yīng)與參考規(guī)范相比。為防止測量儀器的非線性和漂移帶來的誤差，參考規(guī)范應(yīng)與真空漏孔的值盡可能瀕臨。
靜態(tài)比擬法
氣體微流量表靜態(tài)比擬法
如圖6所示，順次將真空漏孔流出的氣體QL和氣體微流量表流出的氣體Q，別離引人到一個真空室中，再經(jīng)過限流孔被真空泵抽走，比擬它們在真空室中產(chǎn)生的靜態(tài)失調(diào)壓力輸入信號(別離為HL和Hs)，而后用式(9)劃算出真空漏孔的漏率。
QL=(HL/Hs)Qs (9)
此步驟中，要害技能之一在乎氣體微流量表。表1是美國規(guī)范技能鉆研院(NIST)、德國物理技能鉆研院(PTB)和中國LIP的比擬法校準(zhǔn)真空漏孔安裝的技能指標(biāo)。
參考漏孔靜態(tài)比擬法
比擬被校真空漏孔和已知漏率為口，的參考漏孔在檢漏儀中的輸入信號HL和Hs，用式(10)劃算被校真空漏孔的漏率。
(10)
式中H0為檢漏儀的本底信號;as和aL別離為參考漏孔和被校漏孔的熱度系數(shù);△Ts，和△TL別離為校正點(diǎn)參考漏孔和被校漏孔與參考熱度的偏差。那末Qs、和QL無比瀕臨，則此步驟中最大的誤差源來自Qs的量值，因而作為參考規(guī)范用的參考漏孔務(wù)必定期用氣體微流量規(guī)范或其余高精度的相對式漏率規(guī)范繼續(xù)校準(zhǔn)。這種步驟容易實(shí)用，許多漏孔校準(zhǔn)試驗(yàn)室都用它對實(shí)用型參考漏孔(作為非傳.遞規(guī)范用的參考漏孔)繼續(xù)校準(zhǔn)。
動態(tài)比擬法
定量氣體動態(tài)比擬法
從被校真空漏孔流出的氣體在體積V內(nèi)積攢一段工夫后，會構(gòu)成一個分壓力，用質(zhì)譜計將此分壓力與規(guī)范分壓力繼續(xù)比擬，而后可失去真空漏孔的漏率。規(guī)范分壓力可用動態(tài)收縮法或從已知漏率的漏孔流出氣體累積而失去。
美國SNL用動態(tài)收縮法失掉規(guī)范分壓力，如圖7所示。在小容器V.內(nèi)充入壓力為Pt的校準(zhǔn)氣體(深淺為C)收縮到大容器V中作為規(guī)范壓力。歷次校正點(diǎn)，用小容器V.從大容器V中取樣，而后動態(tài)收縮到Vm中，由質(zhì)譜計測量其分壓力信號Hs;再將被校參考漏孔通過工夫△t后在體積V.x。二中累積的氣體動態(tài)收縮到Vm中，由質(zhì)譜計測量其分壓力信號Hx。最初用下式劃算被校參考漏孔的漏率QL
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